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1. 機台功能簡介

從一個FABS (Load port)由機械手臂抓取晶圓至暫放區，另一隻機械. 手臂將晶圓正面翻至背面送到Mirra 研磨區HCLU (Head-Cup-Load-Unload)，由. Head 吸取晶圓後移至研磨轉盤 ...

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