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liga-like製程
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微奈米製程與科技之應用
仿X 光刻電鑄模造( LIGA-like ) ... 製程中僅需要少量的化學反應用氣體,是. 比較好的蝕刻方法 ... MEMS的發展,根源於1960年代中期利用半導體製程,.
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