如圖. Page 3. 圖、LIGA 製程意示圖. 第一步驟是在基板上鋪上一層厚度數十至數百微米的高分子光阻材料，光源. 經由特殊設計與製作的光罩照射在光阻上。 第二步驟是將照設過 ...
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