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類LIGA製程應用於靜電式微致動器光開關之研製 - Airiti Library ...

微機電系統技術中整合光刻術、電鑄及模造成型之深光刻電鑄模造(LIGA)製程，是批量生產高深寬比微元件的最佳方法。標準的LIGA製程使用同步輻射X光為光刻源，可製作次 ...

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