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微納中試平台淺談MEMS製造工藝之剝離工藝 - 壹讀

剝離工藝（Lift-Off）是針對一些難以刻蝕的材料（如貴金屬、難以腐蝕材料、腐蝕劑對其他暴露的材料沒有足夠的選擇性）進行圖形定義的工藝。

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