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微系統製造與實驗習題（92）

寫出SiO2 在微機電系統或其製程中的三種主要功用. 2. 簡述CVD 的製程原理. 3. 簡述PVD 的濺鍍製程 ... 請簡述金屬電極蝕刻與剝離lift-off 實驗之流程（從裸晶圓開始）?

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