蝕刻製程對於相位偏移薄膜有蝕刻不均之情形,將會導致. 光罩上的相位偏移薄膜厚度不均,所以當光線穿透位在光 ... 造方法,其係使用剝離(lift off)製程來完成相位偏移層的 ...
確定！ 回上一頁
