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產品應用 - AST聚昌科技

... 的ⅢⅤ族半導體前段製程設備，有能力提供 (1) ICP-RIE高密度電漿反應式離子蝕刻設備（DBR, GaN, InP） (2) E-Beam Evaporator電子束蒸鍍設備（Lift-Off process）

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