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107 Chapter 2 IC製程技術

Mechanical Systems，Vol.5 ， No.4 ，第256頁) Lift-off 製程說明蝕刻液蝕刻物單晶多晶二氧磷矽氮化鋁鎢鈦光阻質矽矽化矽玻璃矽掀離(lift-off)是一種不經由蝕刻而 ...

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