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第三章可變電容梳狀懸浮結構製作 - CHUR

術結和了黃光微影、犧牲層、薄膜沉積和電鍍製程。 3-1 面型微加工技術. 面型微加工技術與積體電路的製作 ... 利用掀舉法(Lift-Off)來製作金屬蝕刻尺，其方法如下： ...

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