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591258.docx

把光阻膠放入蒸鍍銅膜的機器內有可能會污染到蒸鍍系統的真空腔，所以lift-off的方法在半導體製程中很少使用。 二、電子束微影技術. 光學微影技術很適合大量生產用， ...

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