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Lab3 金屬電極剝離法實驗 - 國立高雄科技大學

練習以剝離法(lift off)於晶圓上製作圖形(pattern)，並以光學顯微鏡檢測電極成形結. 果。 3.2. 實驗步驟 ... (2) 利用微影製程，將所曝光的圖案，.

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