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Re: [問題] lift-off問題(已補上資訊) - 看板NEMS

無論是當做dry/wet etch的mask或是用來liftoff都有相當優異的表現。 ... 想詢問一下: 目前小弟在做lift-off製程: 順序是: 曝光顯影: 進RIE用氧電漿再 ...

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