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CN105573050A - 两层光阻剥离工艺

[0005]现有的两种方案都无法达到在较厚光阻厚度的情况下，光阻定义图形的倒梯形角度〈70度，因此后制程金属蒸镀时，光阻侧壁会被金属包裹，无法达到lift off工艺要求。

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