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LED 裸晶光學特性之自動量測

圖1：LED 上下游結構圖 ... LED晶圓影像，再交付軟體計算定位各晶粒位置輸入資料庫系統。影機 ... 四軸之機械機構主要的目的是用來完成XY Zθ的定位，如圖6所示。其.

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