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LED 磊晶製程新技術-作者：許明哲(David Hsu)： 弘塑科技 ...

基本上， GaN LED是以磊晶(Epitaxial)方式生長在藍寶石基板(Sapphire Substrate)上 ... 圖5為經過化學濕式蝕刻圖形化藍寶石基板(PSS)，接著生長GaN磊晶層的LED結構圖。

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