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深次微米矽製程技術 - 第 132 頁 - Google 圖書結果

... 與儀表薄膜特性分析儀表薄膜厚度、折射率、介電常數」橢圓測試儀( ellipsometer ) ... 電容電壓特性 ILCR 錶( LCR meter ,如 HP 4192A ) >介電常數「阻抗頻率量測儀( ...

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