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电容测量原理- 测试参数第八章 - 知乎专栏

如果外屏蔽接地，感应电流就短路到地，电桥就可能无法平衡。许多用户都没有意识到这个问题。 测量晶圆片卡盘上半导体晶圆片的电容与测量分立器件有很大 ...

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