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準分子雷射回火結晶系統簡介

文中簡單描述雷射產生之基本原理，並介紹屬於脈衝. 式氣體雷射之準分子雷射的類型與產生模式，最後則針對應用於製造玻璃基板上之低溫複晶. 矽薄膜的準分子雷射回火結晶系統 ...

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