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林本堅以浸潤式微影技術開創產業未來-工業技術與資訊月刊

因為他，193奈米浸潤式微影方式問世，改寫全世界半導體微影藍圖；因為他，產業界花在前一代技術將近10億美元後停止繼續失血。他是台積電奈米影像技術研究發展副總經理 ...

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