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東南技術學院機械工程系專題製作報告台幣八千元蓋一座八吋晶 ...

淺綠色代表缺陷（defect）檢測，代表性機台是KLA-Tencor。利用光學. 比對原理檢測晶圓是否異常，如同玉米的排列，只要有異常出現，必須盡快. 解決排除。

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