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Chapter 3 元件製作與量測系統介紹

太軟或太黏，而附著在光罩上，這個步驟也稱為軟烤(soft bake)。 ... 量測電路，檢查樣品的歐姆接點好壞與通過平台結構(MESA)的I-V curve 是否線.

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