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微振動對於半導體廠的影響及微振等級介紹 - 台灣營建研究院

國際標準組織（ISO）還使用. 以速度為基準的人體振動標準，該標準已納入標準曲線圖中（圖一）。 因此透過微振量測，可以了解設備的VC Curve 等級，並以此資.

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