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第二章紅外線感測器基本工作原理與結構考量

雖然，本論文只對熱型紅外線感測器最關鍵元件-懸浮薄板結構. 層做製程模擬與實做，但是懸浮薄板的形狀、尺寸、以及材質等規. Page 2. 11. 格，仍需藉由不同之熱、電分析 ...

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