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半導體廠含IPA廢水經氧化轉換為acetone之研究
本項實驗以半導體廠晶圓乾燥後所排放的.純IPA廢水,直接以旁流(bypass)方式拉管至本所設計之UV/ O3氧化系統作氧化降解IPA及化學 ...
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