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【專利讓與及授權】教育部計畫產出專利公告(4件)-1090703
本發明揭露一種光學薄膜製程即時監測系統及其方法,其包含複數個生產 ... 知識資料庫能將橫跨複數個生產系統之歷史製程數據,結合成為製程波形特徵。
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