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ICP-RIE干法刻蚀
ICP -RIE(电感耦合等离子体-反应离子刻蚀),这是将ICP与反应性离子刻蚀(RIE)的技术相结合。ICP-RIE是一种先进的技术,旨在提供高蚀刻速率、高选择 ...
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