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【製程設備】總覽與收費標準 - 清華大學

感應耦合電漿式離子蝕刻機ICP-400iP ( III-V ) ... 一、 廠牌與型號: SAMCO RIE-400ip for Group III-V only ... 非等向性離子反應式深矽蝕刻系統（Deep RIE）.

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