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一文读懂ICP刻蚀技术

rie.jpg. ICP刻蚀设备的一般构造. icp.jpg. 电感耦合等离子体（ICP）刻蚀机包括两套通过自动匹配 ... 气压对刻蚀速率的影响随刻蚀材料和气体的不同而有明显的差异。

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