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icp蝕刻原理的推薦， 網路上有這些評價

而感應耦合電漿活性離子蝕刻（ICP-RIE，inductively coupled plasma reactive ion ... ICP -RIE全稱是電感耦合等離子體刻蝕機，是半導體芯片微納加工過程中必不可少的 ...

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