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ALD 設備與產業展望 - 台灣儀器科技研究中心

ALE 係操作於超高真空環境下，即類似MBE. 系統設計 ... 包含主畫面(main)、監測畫面(monitor)、製程設定 ... plasma, ICP) 與直接電容耦合電漿(capacitively-.

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