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台積電全球首座全自動化3D IC先進封裝廠下半年量產 - 聯合報

... 世代N6e製程技術，以因應邊緣人工智慧（AI）和物聯網對低功率的要求；同時支持5奈米且是全球最具自動化的3D IC先進封裝廠，預定今年下半年量產。

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