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奈米與半導體產業計量研究室 - 國家度量衡標準實驗室
Highlight /核心技術分別以光學、電重力平衡、電子顯微鏡等校正系統,量測校正微、奈米粒子之粒徑大小、粒徑分布、形貌、粒子濃度、…等重要參數半導體奈米關鍵尺寸量測: ...
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