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(12)發明說明書公告本

半導體晶圓內完全不會產生利用光彈性應力測量法(SIRD)可測. 得之應力。 ... 通道中進行光霧(haze;渾濁度,不透明度)的散射光測量。 ... 減曲線量測而確定。

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