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haze量測
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矽晶圓的精拋光方法以及使用該拋光方法拋光的矽晶圓 - Google ...
... 圓表面的霧度(Haze),導入有對於拋光後的矽晶圓的洗淨蝕刻力小的毛刷洗淨等。 ... 另外,晶圓表面的霧度也會影響到基於藉由BET法所量測出的矽酸膠(磨粒)的磨粒 ...
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「haze量測」
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霧度值
ASTM D1003
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霧度英文
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