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矽晶圓的精拋光方法以及使用該拋光方法拋光的矽晶圓 - Google ...

... 圓表面的霧度（Haze），導入有對於拋光後的矽晶圓的洗淨蝕刻力小的毛刷洗淨等。 ... 另外，晶圓表面的霧度也會影響到基於藉由BET法所量測出的矽酸膠（磨粒）的磨粒 ...

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