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保溫材鈣金屬污染對閘極氧化層的影響之影響及防治

剖析與驗證C-V 量測量測技術………………………... 26 ... C爐管製程後Si表面Haze數………….…….……9. 圖2-6 Haze:0.5 由AFM量測到RMS-roughness 0.41nm…………….……....…9.

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