UV-VIS 及霧度計,得到量測反射率及Haze 分別對入射光波長關係. 圖, 評估調控製成參數。 二、非晶矽鍺膜製備與光電特性量測. 藉由PECVD 系統導入SiH4、GeH4、H2 ...
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