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haze量測
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實現製造生產力改善以及降低測試晶圓成本
Haze 的測量單位為ppm,. 是平均表面散射強度與入射鐳射光束強度的比率。對於. 裸晶圓而言,haze 與表面粗糙度有極大關聯。(當透明. 薄膜出現時,haze 也會 ...
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霧度英文
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