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廢硫酸再利用

於光阻去除後之矽晶圓清洗，使用的硫酸添加了過氧化氫(H2O2)，使其成為一強 ... 量硫酸亞鐵反應，使原液中之H2O2 及Fe＋2 反應成Fe＋3 及H2O，使之成為含.

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