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TiW Etch - 弘塑科技股份有限公司

... 製造之300 mm Auto Wet Bench設備進行鈦鎢合金(TiW)及鈦(Ti)蝕刻製程，針對TiW和TiW（N）等UBM層，一般採用雙氧水(Hydrogen Peroxide; H2O2）為主成份之蝕刻液。

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