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中華大學碩士論文

為了滿足國際半導體技術藍圖(ITRS)低臨界電壓範圍的需求，在45奈米技術節點 ... 此技術對於使用金屬來當作閘極(gate)電極的閘極優先(gate-first)製程是很有前景的。

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