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High-k gate stack - 政府研究資訊系統GRB

閘堆疊(gate stack)製程是發展奈米級積體電路(IC)金氧半元件很重要的研究課題，而使用 ... 為了改善high-k gate dielectric 之電特性與可靠性，high-k 材料與半導體基 ...

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