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半导体晶元制造工序的前半部分） 3. 栅极氧化及闸形成 - USJC

半导体 晶元的制造过程». 这是决定晶体管性能的最重要的工序。 因为栅极氧化影响晶体管的性能及可靠性极大，所以需要在晶片表面形成分布均匀的高密度薄膜。

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