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关于黄光及其100个疑问，这篇文章已全面解答…… - 行家说

76、近代光刻技术分哪几个阶段? 答：从80'S 至今可分4阶段:它是由曝光光源波长划分的;高压水银灯的G-line（438nm）, ...

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