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高端光刻机为什么难“买”又难“造”？ ssd新闻存储新闻 - 闪德资讯

最早的光刻机采用汞灯产生的紫外光源，从g－line一直发展到i－line，波长从436nm缩短到365nm。随后，业界利用电子束激发惰性气体和卤素气体结合形成的气体分子， 向 ...

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