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芯片制造：光刻机和刻蚀机的“江湖” - 老虎社区

经过多年发展，光刻机已经演化出五代产品，由光源波长进行区分可以分为可见光（g-line），紫外光（i-line），深紫外光（KrF、ArF）以及极紫外（EUV） ...

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