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g line波長
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取代光刻机!又一芯片制造新技术诞生,可量产5nm芯片?
从第一代g-line光源开始,到目前最先进的EUV设备,波长已经压缩到13.5nm。 不管如何变化,使用光刻机造芯片已经是司空见惯了。但日本企业似乎研制出新的 ...
確定!
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「g line波長」
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