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光刻机的几个关键部件介绍，怎样分析光刻机性能- 五度易链

最早光刻机的光源是采用汞灯产生的紫外光源(UV: Ultraviolet Light)，从g-line一直发展到i-line，波长缩小到365nm，实际对应的分辨率大约在200nm以上。

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