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极紫外光刻光源的研究进展及发展趋势 - 中国光学期刊网

光刻分辨率的提高可通过减小曝光光源的波长、减小工艺因子或增大投影透镜的 ... nm（2%带宽）的极紫外光（EUV），其光源波长缩小到了g-line的1/30。

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