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半导体材料·光刻胶投资宝典 - 投研数据库
其中降低曝光波长与光刻机使用的光源以及光刻胶材料 ... g-line 与i-line 光刻胶均使用线性酚醛成分作为树脂主体,重氮萘醌成分(DQN 体系)作为感光 ...
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